Recently, the domestic material science and technology enterprises have successfully developed a new type of silicon carbide ceramic material with purity as high as 99.999%, and this breakthrough will significantly improve the performance and reliability of semiconductor manufacturing equipment. With the semiconductor process nodes continuing to shrink, the purity of key parts and material requirements are increasingly stringent; Cette percée technologique pour la mise à niveau de l'équipement de semi-conducteur domestique fournit un support matériel important.
Prise en évidence technique:
1. Contrôle de pureté ultra-élevé: le contenu de l'impureté métallique est contrôlé à moins de 0 . 1 ppm grâce à un processus de dépôt de phase de vapeur innovant et à la technologie de purification, répondant aux exigences de 7 nm et moins.
2. Excellente performance thermique: performance stable à 1000 degrés avec conductivité thermique de 270W / Mk .
3. Excellente résistance à la corrosion: résistant aux acides forts, aux bases fortes et aux environnements corrosifs plasmatiques .
Avantages d'application de l'équipement semi-conducteur:
1. Équipement de gravure: utilisé comme matériau de doublure de cavité pour réduire la contamination des métaux et améliorer l'uniformité de la gravure
2. Croissance épitaxiale: utilisée comme plateaux et bases pour assurer la qualité de la couche épitaxiale .
3. implantation ionique: remplace les composants de quartz traditionnels et étend les intervalles de maintenance de l'équipement .
Un expert de Ceramicstimetime a déclaré: "La fabrication de semi-conducteurs se dirige vers des nœuds de processus plus fins, et la céramique en carbure de silicium de haute pureté deviendra un matériau clé pour l'équipement de nouvelle génération . Cette percée réduira efficacement la dépendance de la Chine à l'égard des matériaux importés pour l'équipement semi-conducteur ." "
Actuellement, le matériau a réussi les tests de vérification des principaux fabricants d'équipements de semi-conducteurs intérieurs et devrait atteindre la production de masse au quatrième trimestre de 2024. avec le développement rapide de technologies émergentes telles que la 5G et l'intelligence artificielle, la demande du marché pour la taille du marché mondial de la silicium se développera, la taille du marché mondial dépassera 5 milliards de dollars, et il est prévu que, à 2026, la taille du marché mondial dépassera 5 milliards de dollars, et il est prévu que, à 2026 ans yuan .
Dynamique commerciale:
Cerramicstimes a investi 500 millions de yuans pour construire une chaîne de production spéciale, l'achèvement de la capacité de production annuelle du projet allant jusqu'à 200, 000}, répondra efficacement aux besoins des fabricants d'équipements de semi-conducteurs domestiques . en même temps, l'entreprise travaille avec un certain nombre d'établissements de recherche pour optimiser les properties matérielles, pour développer plus d'équipements semi-conducteurs pour plus de pièces spéciales de semi-actuels spéciaux semi-agrateurs pour plus d'optimiser les properties matérielles, pour développer plus d'équipements semi-conducteurs pour plus de pièces spéciales de semi-actuels spéciaux semi-agrateurs pour plus d'optimiser les properties matérielles, pour développer plus d'équipements semi-conduits pour plus de pièces spéciales de semi-surnom, Solutions .
Cette percée technologique remplit non seulement le blanc des céramiques domestiques en carbure de silicium de haute pureté, un contrôle plus indépendant de l'équipement de semi-conducteur chinois offre une garantie importante de matériaux, favorisera fortement le processus de localisation de la chaîne de l'industrie des semi-conducteurs .
