Bague de mise au point en carbure de silicium

Les anneaux de dépôt en céramique d'alumine servent de composants consommables essentiels dans les chambres de réaction des équipements de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt physique en phase vapeur (PVD)-dispositifs de base dans la fabrication de puces à semi-conducteurs. Leurs exigences en matière de sélection de matériaux et d’application sont exceptionnellement strictes. Généralement installés autour de supports de plaquettes (mandrins électrostatiques), ils font partie de l'espace de réaction du processus. Dans l'environnement exigeant de fabrication de semi-conducteurs, le rôle principal de l'anneau de dépôt est de protéger les composants de base coûteux (tels que les mandrins électrostatiques) de la contamination et du dépôt de sous-produits du processus, d'assurer l'uniformité du processus et de maintenir la propreté et la stabilité de la chambre. Ses performances ont un impact direct sur la disponibilité des équipements, les coûts de maintenance et le rendement final des copeaux. Ces composants entrent dans la catégorie de l’usinage de précision de la céramique d’alumine, exigeant des exigences strictes en matière de haute pureté et de performances supérieures du matériau céramique d’alumine.

• Résistance exceptionnelle à la corrosion : capable de résister à l'érosion causée par divers gaz plasmatiques corrosifs et hautement réactifs utilisés dans les processus CVD/PVD, garantissant ainsi une durée de vie prolongée.
• Résistance supérieure aux-températures : maintient la stabilité structurelle et les performances à des températures de processus atteignant des centaines, voire des milliers de degrés Celsius, sans déformation ni fusion, démontrant ainsi ses caractéristiques de céramique d'alumine-à haute température.
• Haute pureté et faible contamination : les céramiques d'alumine de haute-pureté (par exemple, 99,9 % ou plus) minimisent la libération de contaminants tels que les ions métalliques du matériau lui-même dans la chambre de traitement dans des conditions de température et de plasma élevées-, empêchant ainsi la contamination des plaquettes.
• Excellentes résistance mécanique et dureté : possède une rigidité suffisante pour maintenir la stabilité dimensionnelle tout en résistant aux contraintes mécaniques et aux forces d'installation. Des propriétés mécaniques robustes constituent la base de toutes les formes-qu'il s'agisse de plaques de céramique d'alumine, de tiges de céramique d'alumine (barres d'alumine) ou de tubes d'alumine.
• Isolation supérieure : en tant que matériau isolant, la céramique d'alumine n'interfère pas avec la fonction d'adhésion du mandrin électrostatique pour les plaquettes, garantissant ainsi la sécurité et la stabilité du processus.
• Conductivité thermique modérée : Aide à homogénéiser le champ de température à l’intérieur de la chambre tout en évitant la surchauffe.
• Haute précision et usinabilité : grâce à des techniques avancées de formage de la céramique et à un usinage de précision, des formes complexes avec une précision dimensionnelle et une finition de surface exceptionnelles peuvent être obtenues.

• Matières premières : nécessitent de la poudre d'alumine fine, en particulier pour les céramiques d'alumine de haute-pureté. L'oxyde d'aluminium (Al2O3) est le produit chimique de base.
• Formage et frittage : implique les fabricants de céramique d'alumine qui utilisent des techniques pour produire des ébauches de céramique d'alumine.
• Usinage de précision : effectué par des spécialistes de l'usinage de la céramique d'alumine ou des fournisseurs de pièces, transformant des ébauches en composants finaux tels que des plaques de céramique d'alumine, des tiges de céramique d'alumine ou des pièces structurelles complexes en céramique d'alumine.
• Autres formes et applications : Au-delà des anneaux de dépôt, les céramiques d'alumine ont diverses utilisations de semi-conducteurs, telles que les substrats en céramique d'alumine (substrat al2o3) pour l'emballage, les membranes en céramique d'alumine et les tubes en fibre d'alumine pour l'isolation.

Nous suivons strictement le système de gestion de la qualité ISO 9001 pour garantir la cohérence :

• Inspection à 100 % des matières premières
• Lignes de production avancées de-pressage à chaud
• Tests en interne : densité, dureté, analyse de la microstructure
• Certifications tierces-(SGS, CE, ROHS disponibles sur demande)

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