Description des produits
Une nacelle en céramique de carbure de silicium est un outil de support essentiel utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et les processus de traitement thermique à haute température. Il est généralement constitué d'un matériau en carbure de silicium lié par réaction-de haute-pureté et haute-densité ou fritté sans pression, possédant une structure cristalline unique et d'excellentes propriétés physiques et chimiques. Sa conception est principalement utilisée pour transporter et transporter en toute sécurité des tranches de silicium ou d'autres substrats semi-conducteurs lors de processus à haute -température tels que la diffusion, l'oxydation et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
détails du produit
| Nom du produit | Bateau à plaquettes en céramique de carbure de silicium |
| Couleur | Personnalisé selon les exigences du client |
| taille | Personnalisé selon les exigences du client |
| Conditionnement | Carton/palette/caisse en bois (selon les exigences du client) |
| Délai de livraison | Produit standard-Sous 3 jours |
| Conception des articles | Selon le dessin ou les échantillons du client |
| Caractéristiques | Bonne qualité, prix bas, plusieurs usines, vous livrent en fonction de celle la plus proche de votre emplacement |
| Application | Céramique Industrielle |
| Certificat | OIN, CE |
Performances des produits
- Résistance exceptionnelle aux-températures élevées : Capable d'un fonctionnement stable à long terme-dans des atmosphères inertes ou oxydantes à des températures supérieures à 1 600 degrés. Il présente un faible coefficient de dilatation thermique, une excellente résistance aux chocs thermiques et peut résister à des cycles de chauffage et de refroidissement rapides.
- Stabilité chimique extrême: Démontre une forte résistance à la plupart des acides, alcalis et gaz corrosifs. Il est particulièrement résistant à la corrosion par l'acide fluorhydrique (HF) et est moins susceptible de réagir avec les gaz de procédé à haute température.
- Excellente résistance structurelle et résistance au fluage : Maintient une résistance mécanique et une rigidité élevées à des températures extrêmement élevées, résistant à l'auto-déformation (fluage à haute-température). Cela garantit un espacement stable des tranches et empêche la déformation ou le collage des tranches.
- Haute pureté et faible contamination: Le matériau lui-même est d'une très grande pureté, avec une migration minimale d'impuretés métalliques à haute température. Il possède également une résistance exceptionnelle à la génération de particules, minimisant ainsi la contamination de la chambre de traitement et des tranches.
- Bonne conductivité thermique et conductivité électrique: Sa conductivité thermique est supérieure à la plupart des céramiques, contribuant à l'uniformité de la température pendant les processus. Il présente également une certaine conductivité électrique, aidant à éviter l’accumulation de charges statiques.
Applications de produits
- Fabrication de puces semi-conductrices : sert de composant de base dans les équipements tels que les fours à diffusion, les fours d'oxydation et les fours de dépôt chimique en phase vapeur à basse-pression (LPCVD) pour les processus critiques à haute-température, notamment la diffusion de bore/phosphore, l'oxydation thermique et le dépôt de polysilicium/nitrure de silicium sur des tranches de silicium.
- Production de cellules solaires photovoltaïques : utilisé dans les étapes de processus à haute-température telles que la diffusion et la cuisson du phosphore lors de la fabrication de cellules solaires en silicium cristallin.
- Préparation des plaquettes épitaxiales LED: Agit comme un plateau porteur pour des substrats comme le saphir ou le carbure de silicium dans des équipements tels que les réacteurs MOCVD pour la croissance épitaxiale de matériaux comme le GaN.
- Autres domaines de traitement thermique à haute-température : Également largement utilisé dans les processus de frittage à haute température, de traitement thermique et de transport dans des domaines tels que la métallurgie, le verre, la céramique et le frittage de poudres.
Paramètres des produits
| Nombre | Performance | Unité | Carbure de silicium | Carbure de silicium |
| SiSiC | SiC | |||
| 1 | Densité | g/cm3 | 3.05 | 3.0-3.1 |
| 2 | Résistance à la flexion | MPa | 250 | 450-500 |
| 3 | Résistance à la rupture | MPa·m1/2 | 4 | 4 |
| 4 | Constante diélectrique | εr (20 degrés, 1 MHz) | 9~10 | 9~10 |
| 5 | Dureté | GPa | 20 | 24 |
| Dureté | CRH | 85 | 87 | |
| 6 | Résistivité volumique | Ω·cm(20 degrés) | 10-2~1012 | 10-2~103 |
| 7 | Module élastique | GPa | 330 | 440 |
| 8 | Coefficient de dilatation thermique | ×10-6/k | 4.5 | 4.1 |
| 9 | Résistance à la compression | MPa | 550 | 2500 |
| 10 | Abrasions | g/cm2 | 0.01 | 0.01 |
| 11 | Conductivité thermique | W/m×k(20 degrés) | 45 | 84 |
| 12 | Coefficient de Poisson | / | 0.16 | 0.16 |
| 13 | Force d'isolation | kv/mm | 100 | |
| 14 | Température | degré | 1380 | 1600 |
contrôle de qualité
Dans le strict respect du système de gestion de la qualité ISO 9001, nous mettons en œuvre un contrôle qualité complet-des processus pour garantir la livraison cohérente de produits de haute-qualité :
• Inspection à 100 % des matières premières, garantissant la qualité à la source
• Utilisation de lignes de production avancées de pressage à chaud-pour des processus stables et fiables.
• Un système de test interne complet- couvrant l'analyse de la densité, de la dureté et de la microstructure.
• Disponibilité de certifications tierces- faisant autorité (y compris SGS, CE, ROHS, etc., fournies sur demande)
Nous restons déterminés à améliorer continuellement notre système de gestion, en fournissant à nos clients une assurance produit cohérente et fiable.
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Nous sommes un fabricant et fournisseur de céramique. Nous avons une usine et une équipe professionnelles de production de bateaux en cristal de carbure de silicium. De plus, nous nous concentrons sur la recherche, le développement et la production de diverses céramiques, et nous avons également une entreprise aux États-Unis. Nous fournissons un service très professionnel et sincère. Si vous avez besoin de bateaux à plaquettes en céramique de carbure de silicium de haute-qualité ou d'autres fabricants de céramique et de partenaires étrangers à long-terme, n'hésitez pas à nous contacter. Nous prenons en charge toute personnalisation de grande difficulté-et nous ferons de notre mieux pour répondre à vos besoins.
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