Description des produits
La cible de pulvérisation d'oxyde d'aluminium est un matériau fondamental clé utilisé dans la technologie de dépôt physique en phase vapeur (PVD), en particulier dans les processus de pulvérisation magnétron. Son composant principal est une céramique d'alumine (Al₂O₃) de haute pureté. Ce type de cible de précision en céramique d'alumine ou en matériau d'alumine fine diffère considérablement des céramiques industrielles courantes à base d'alumine ou des céramiques structurelles telles que la céramique d'alumine 95, la céramique d'alumine à 96 % et l'alumine 99 en termes de pureté des matières premières et d'exigences de performance.
Spécifications du produit
- Composition chimique : Al₂O₃ (phase primaire)
- Pureté : 99,5 % - 99.99 % (facultatif)
- Porosité : extrêmement faible (selon les exigences des tests clients)
- Taille des grains : contrôlable (par ex.<5 μm, 5-20 μm, >20 μm)
- Aspect : norme en céramique dense blanche à ivoire-blanche
- Dimensions : Diamètre 25 mm-300 mm (ou personnalisé selon les dessins), Épaisseur 1 mm-30 mm (personnalisable)
Applications du produit
Microélectronique et Semi-conducteurs :
Utilisées comme couches diélectriques de grille, couches diélectriques de condensateur et couches de passivation/protection de dispositif, déposées directement sur des tranches de silicium ou des substrats en céramique d'alumine (substrats d'alumine).
Optique et Optoélectronique :
Utilisé pour préparer des revêtements antireflet-, des films de protection pour objectifs d'appareils photo, écrans, etc., sur des plaques d'alumine ou du verre.
Fonctionne comme une couche de guide d’ondes ou une couche isolante dans les dispositifs optiques.
Protection de surface et revêtements d'outils :
Le dépôt de revêtements durs sur des outils de coupe en céramique d'alumine, des moules ou des surfaces métalliques améliore considérablement leur résistance à l'usure, leur résistance à l'oxydation à haute température-et leur durée de vie. Cette propriété est intrinsèque au matériau céramique d’alumine en vrac utilisé pour les buses en céramique d’alumine, les blocs d’alumine et les briques d’alumine.
Technologie d'affichage :
Dans les écrans TFT-LCD et OLED, utilisés comme couches isolantes, couches de passivation ou couches d'encapsulation en film mince-. Son excellente propriété de barrière contre l’humidité est cruciale pour l’encapsulation OLED.
Revêtements résistants à l'usure et à la corrosion :
Prépare des revêtements protecteurs sur les pièces métalliques dans les domaines de l'aérospatiale, de l'automobile et autres. L'effet est similaire à la fixation d'une couche extrêmement fine semblable à une feuille de céramique d'alumine ou une plaque de céramique d'alumine sur le substrat métallique.
Applications fonctionnelles spéciales :
Utilisé pour préparer des revêtements biocéramiques d'alumine, des membranes céramiques d'alumine et des revêtements sur des céramiques d'alumine poreuses. Sert de matériau fondamental pour la préparation de divers films minces fonctionnels dans la recherche scientifique, souvent déposés sur des composants en céramique d'alumine personnalisés tels que les creusets de bateaux en alumine, les creusets en alumine et les cylindres d'alumine.
Caractéristiques du produit
- Haute pureté et densité : la pureté cible doit généralement être de 99,9 % (3N) ou même de 99,99 % (4N) et plus, dépassant de loin celle des céramiques d'alumine à 96 % ou des céramiques d'alumine à 99,5 % ordinaires, afin de minimiser l'impact des impuretés sur les performances du film.
- Excellente stabilité chimique : comme tous les produits en céramique d'alumine, son film mince offre une excellente résistance à la corrosion, capable de résister à la plupart des acides et des alcalis.
- Isolation électrique exceptionnelle : L'alumine est un excellent isolant électrique. Cette propriété le rend largement utilisé dans les composants en vrac tels que les isolants en céramique d'alumine et les manchons isolants en alumine, tandis que sous forme de film mince-, il est utilisé pour isoler les couches des dispositifs microélectroniques.
- Dureté et résistance à l'usure élevées : les films minces d'alumine possèdent une dureté élevée, atteignant jusqu'au niveau 9 sur l'échelle de Mohs.
- Bonne stabilité thermique : la phase alpha-alumine est structurellement stable à haute température, adaptée aux applications à haute-température. Cette caractéristique se reflète également dans des produits tels que les céramiques d'alumine à haute température, les creusets en alumine (bateaux en alumine) et les tubes en alumine destinés aux fours.
- Excellentes propriétés optiques : le film mince présente une transparence élevée dans le spectre visible au proche -infrarouge, ce qui le rend couramment utilisé pour les revêtements optiques. La céramique d'alumine elle-même, sous des formes telles que des disques d'alumine ou des plaques d'alumine, peut également servir de composants céramiques de précision dans les domaines optiques.
- Propriété de barrière élevée : il possède une excellente capacité de barrière contre la vapeur d'eau et l'oxygène, ce qui en fait un composant clé pour les matériaux d'emballage hautes-performances.
Contrôle qualité et certification
- Traçabilité des matières premières (certificats de pureté chimique et granulométrie)
- Rapports d'analyse chimique, photographies de microstructure et rapports d'inspection dimensionnelle fournis par lot
- Radioactivité, extractibles ou autres tests spécialisés disponibles sur demande du client
Capacités d'usine
- Notre équipe d'experts possède deux décennies d'expérience en recherche et développement, spécialisée dans la recherche, le développement et la production indépendantes de matériaux céramiques avancés et de céramiques de précision, atteignant les normes et références de premier plan au monde.
- Nous avons déposé plus de 30 brevets chinois.
- Nous possédons des procédés techniques avancés, maîtrisant entre autres les techniques de frittage, de formage, de meulage, d’usinage CNC, de perçage laser, de meulage et de polissage.
- Nous personnalisons divers produits céramiques selon les exigences du client.
Emballage et approvisionnement
- Emballé dans un emballage propre-de qualité électronique (sacs hermétiques en papier d'aluminium/déshydratant/anti-statique) ou dans un emballage extérieur en bois/carton, adapté à l'expédition internationale.
- Prend en charge le traitement personnalisé et les traitements de support cible selon les dessins (par exemple, placage de cuivre, usinage de trous filetés, rainures de positionnement).
- Contrats d'approvisionnement à long terme et garanties de cohérence des lots disponibles.
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